Odpravljena je bila lažna zaznava fotosenzorja v okolju visokega vakuuma.
Polprevodniška industrija
Proizvajalec opreme za proizvodnjo polprevodnikov, ki načrtuje naprave za vakuumsko nanašanje za izdelavo polprevodnikov za fotonapetostne panele.
Predstavnik oddelka za načrtovanje delov za zaznavanje substratov nas je povprašal o "pozicioniranju" steklenih substratov v vakuumskem okolju.
Miza vsebine
Težave stranke
"Fotoelektrični senzor" je bil uporabljen za zaznavanje prisotnosti steklene podlage v vakuumski komori, vendar je prišlo do težav pri številnih lažnih zaznavah zaradi zamegljenosti vidnega okna med izhlapevanjem.
Poleg tega je obstajala še ena težava; samo okno za ogled je drago obdelano.
Stranka se je posvetovala z večjimi proizvajalci senzorjev in preizkusila visokozmogljiv fotosenzor, vendar njegova uporaba ne more preprečiti lažnih zaznav.
Obisk naše stojnice na sejmu "Vakuum razstava" za tehnologije oblikovanja kalupov je stranko spodbudil, da se seznani z našimi stikali in nas kontaktira.
Glavni poudarek vprašanj
Pozicioniranje steklene podlage v vakuumskem okolju.
Zameglitev vidnega okna pri izhlapevanju povzroči lažno zaznavanje v fotosenzorju.
Pogled na okno je drago obdelan.
Metrolovi predlogi
Ker konvencionalni "fotoelektrični senzor" zaznava obdelovance z odbojem oddane svetlobe, so ti izpostavljeni zunanjim pogojem, kot so meglenje, kapljice vode in razpršeni odboji itd., kar nenehno povzroča lažna zaznavanja.
Večina inženirjev domneva, da je "senzor v vakuumu neuporaben".
Metrolovo "stikalo, združljivo z visokim vakuumom", je mehansko precizno pozicionirno stikalo, izdelano samo iz delov, združljivih z nizkim sproščanjem plinov, brez električne podlage.
Stikalo je združljivo z visokim vakuumom do 10^-5 Pa in lahko varno zazna stekleno podlago tudi v okolju visokega vakuuma.
Kontaktno silo stikala prilagodimo na 0,5 N ali manj, material konice pa na posebno smolo, tako da ni nevarnosti praskanja občutljive steklene podlage.
Izboljšave
Realizacija pozicioniranja rezine v okolju visokega vakuuma 10^-5 Pa.
Brez lažnega zaznavanja zaradi neposrednega stika z rezino.
Potreba po preglednem oknu je odpravljena, stroški obdelave pa so znatno zmanjšani.
Komentar predstavnika Metrola
Ker so signalne točke fotosenzorjev, kot sta "fotoelektrični senzor" in "optični senzor", nevidne, je prilagajanje namestitve trajalo več kot dva dni.
Ker so signalne točke Metrolovega kontaktnega "stikala za natančno pozicioniranje" vidne, je mogoče položaje namestitve določiti v CAD-u med načrtovanjem.
V polprevodniški industriji imamo veliko preteklih izkušenj z uvajanjem, tudi s pozicioniranjem v vakuumskih napravah, kot so "naprava za razprševanje", "naprava za izhlapevanje organskih EL", "jedkalnik" in "nosilci rezin" itd.
Če imate kakršne koli težave s pozicioniranjem ali zaznavanjem prisotnosti v vakuumskem okolju, se obrnite na Metrol.
Veselimo se vašega odziva na pripravo naših vzorcev za ocenjevanje.
Za dodatne informacije o izdelkih, uporabljenih v tej aplikaciji
Stikala z visokovakuumsko upornostjo
Odpravljena je bila lažna zaznava fotosenzorja v vakuumskem okolju!
