Kako doseči prostorsko varčno pozicioniranje v okoljih z visokim vakuumom in nizkim sproščanjem plinov

Katere težave se pojavljajo v vakuumskih okoljih?

Zaradi odplinjevanja nastanejo različne težave

"Izpuščanje plinov" je eno najpomembnejših vprašanj pri proizvodnih procesih v vakuumskih okoljih.
Pojavlja se pri različnih komponentah, kot so šablone, deli, lepila in vrvice, kadar se uporabljajo v vakuumskem okolju.

Izpušni plini iz materiala se oprimejo notranje stene vakuumske komore in obdelovancev, kar povzroča težave, kot so:

• Zmanjšanje pridelka zaradi okvarjenih izdelkov
• Težave s kakovostjo
• Povečani stroški inšpekcijskih pregledov

Zato je pomembno izbrati in uporabiti pripravke, dele in materiale z "nizkim sproščanjem plinov" za uporabo v vakuumskih okoljih.

Potreben je načrt za majhen prostor

Ker imajo oprema za proizvodnjo polprevodnikov in vakuumske komore le majhen notranji prostor, mora oblikovalec omejiti prostor za risbe in uporabiti materiale z nizkim sproščanjem plinov.

Zato bi lahko bilo vprašanje "Kako zasnovati opremo brez sproščanja plinov v vakuumskih okoljih z omejenim prostorom?" eno glavnih vprašanj pri proizvodnji v okoljih z visokim vakuumom.

Kakšne so značilnosti stikal z visokovakuumsko upornostjo?

 

Uvod v 3 značilnosti visokovakuumskih uporovnih stikal serije GN:

Ta izdelek je "stikalo na dotik" , ki oddaja signal za VKLOP/IZKLOP ob stiku s šablono ali obdelovancem.
Ti se pogosto uporabljajo z vsemi vrstami opreme in robotov za pozicioniranje in določanje domačih položajev .

Sledijo tri značilnosti vakuumsko združljivih enot serije GN.

Značilnost 1: Za ohišje stikala se uporablja material z nizkim sproščanjem plinov
Značilnost 2: Ultrakompaktna velikost omogoča prihranek prostora
Značilnost 3: Sestavljanje se izvaja v čisti sobi, da se prepreči kontaminacija Katalog

Značilnost 1: Za ohišje stikala se uporablja material z nizkim sproščanjem plinov

Stikala z visoko vakuumsko upornostjo
so izdelani iz materialov, ki zmanjšujejo nastanek izpuščanja plinov, ki je pogost vzrok kontaminacije, pri čemer skoraj ne nastajajo izpušni plini niti v okoljih z visokim vakuumom razreda 10-5 Pa.

Materiali, uporabljeni za ohišje stikala, so naslednji.

[Material ohišja]
・SUS304
・SUS420
・BsBM



[Smola ]
Za dele iz umetne smole znotraj vakuumsko združljivega stikala se uporablja »PEEK« .
To je material z nizkim sproščanjem plinov in zelo nizko vsebnostjo hlapnih organskih spojin in kovinskih ionov, kar omogoča uporabo v vakuumskih okoljih brez skrbi glede kontaminacije.

[Kabel za telo]
Uporaba materiala "PTFE" .

[Lepilo: Torr Seal]
Uporaba lepila »Torr Seal« z nizkim sproščanjem plinov.

[Druge sestavne snovi]
Za stikala z visokovakuumsko upornostjo se ne uporabljajo masti, maziva ali olja .



Katalog

Značilnost 2: Ultrakompaktna velikost omogoča prihranek prostora

Serija GN stikal z visoko vakuumsko upornostjo so ultra kompaktna pozicijska stikala, ki jih je mogoče enostavno namestiti v tesnih prostorih.

Značilnost 3: Nizko sproščanje plinov tudi v okoljih z visokim vakuumom razreda 10-5 Pa

Ohišje stikala je izdelano iz materiala z nizkim sproščanjem plinov, ki se lahko uporablja v okoljih z visokim vakuumom (10⁻¹ Pa do 10⁻⁶ Pa).
Nekateri pogosti postopki visokega vakuuma, ki se uporabljajo v industriji, vključujejo vakuumsko nanašanje, naprševanje in opremo za obdelavo tankih filmov.

※običajno okolje ~ okolje visokega vakuuma: HV: visok vakuum (10⁻1 Pa~10⁻5 Pa)

Značilnost 4: Sestavljeno v čisti sobi za preprečevanje kontaminacije

Stikala z visoko vakuumsko upornostjo so sestavljena pod naslednjimi pogoji, da se prepreči kontaminacija.
・ Deli za sestavljanje so pred uporabo očiščeni
・ Montaža se izvaja v čisti sobi
・ Pri sestavljanju se uporabljajo lateks rokavice (brez pudra). Katalog

Izbira med vrstami stikal z visoko vakuumsko upornostjo

Na voljo je naslednjih pet možnosti specifikacij.

・Kontakt stika
・Smer kabla
・Dolžina Kabel
・Način Delovanje : Normalno odprto (NO) ali Normalno zaprto (NC)
・ Premer/ Hod hoda





Specifikacija 1: Oblika Kontakt

Stikalo odda signal, ko se dotakne kontaktne površine.

Obliko stika je treba izbrati glede na kot, pod katerim se želimo dotakniti predmeta.
Za stikala z visokovakuumsko upornostjo sta na voljo naslednji dve vrsti oblik kontaktov.

(1) Ravno stik
(2) Kotni tip stik


(1) Ko se kontakta dotaknete od spredaj: " tip Ravno kontakta" (serija PT)
*Previdnostni ukrep
Ravno kontaktov ni mogoče uporabiti, če se stik izvaja pod kotom, saj se lahko poškoduje kontaktna točka ali notranjost.
Vedno se uredite tako, da bo stik vzpostavljen iz ravne smeri.

(2) Ko se kontakta dotaknete pod kotom: »Kotni tip tip kontakta« (kroglični kontakt serije BP)
・Obdelovanci z ukrivljeno kontaktno površino
・ Veliki LCD-zasloni ali obdelovanci tiskanih vezij, ki so lahko ukrivljeni
V zgornjih primerih izberite kotno kontaktno stikalo (serija BP) s krogličnim kontaktom.

Visokovakuumska uporovna tip s krogličnim kontaktom so na voljo v dveh vrstah premerov in dolžin hoda.
・Dolžina hoda tipa M5: 0,8 mm
・Tip M16, dolžina navoja: 2,9 mm

Katalog

Specifikacija 2: Smer kabla

Izberite med naslednjima dvema vrstama smeri kabla stikala.

(1) Ravno
(2) 90°(R)

Izberite smer glede na to, kako želite upravljati kabel znotraj vakuumske naprave ali komore, kjer je prostor omejen.

Specifikacija 3: Dolžina Kabel

Standardna dolžina kabla za visokovakuumsko uporovno Stikalo je 0,5 m .

Dolžino je mogoče izbrati med naslednjimi tremi vrstami možnosti.

Možnosti dolžine kabla
・1 m
・3 m
・5 m

Specifikacija 4: Način Delovanje

Obstajata 2 načina delovanja, normalno odprt in normalno zaprt.

Delovna točka signala se razlikuje med normalno odprtim in normalno zaprtim načinom.

Normalno odprto (NO):
Signal se odda, ko se stikalo dotakne kontaktne površine in je pritisnjeno za 0,2 do 0,3 mm.
Normalno zaprto (NC):
0 predhod (prevožena razdalja, preden se signal preklopi). Signal se odda, ko je vzpostavljen stik s ciljem.

Povzetek specifikacij:

・Kontakt stika
・Smer kabla
・Dolžina Kabel
・Način Delovanje : Normalno odprto (NO) ali Normalno zaprto (NC)
・ Katalog premerov

《 Miza s specifikacijami visokovakuumskega uporovnega Stikalo Serija GN 》

*1: Celotna dolžina = od kontaktne konice do konca telesa (dolžina kabla ni vključena)

*2: Enota dolžine: mm

Pogosta vprašanja in točke, ki si jih je treba zapomniti

Temperatura Toplotna odpornost (zgornja in spodnja meja)

Zgornja meja toplotne odpornosti visokovakuumskih uporovnih stikal je 120 °C, spodnja meja pa 0 °C.
Pri pečenju za odplinjevanje ga lahko brez težav uporabljate pri temperaturi do 120 °C do približno 2 uri.

Hitrost Delovanje in šumenje

Izogibajte se uporabi nizkih delovnih hitrosti 10 mm/min ali manj, saj obstaja nevarnost tresenja.

Življenjska doba Kontakt

Lahko se uporabi za 3 milijone prehodov VKLOP⇔IZKLOP.

Pritezni moment matic in vijakov pri montaži

Pri namestitvi stikala mora biti pritezni moment matic in vijakov 1 N/m .

Zgodbe o uspehu in Uporaba

 

V tem razdelku so predstavljene zgodbe o uspehu visokovakuumskih uporovnih stikal po panogah, aplikacijah in obdelovancih.

Industrije:

・ Polprevodnik
・ LCD-zaslon
・ OLED
・ Letalstvo in vesolje

Študije Ohišje /aplikacije:

Naslednje aplikacije pozicioniranja v vakuumskih okoljih so pogoste.
・Iskanje izvora Obdelovanec
・Namestitev Obdelovanec
・Pozicioniranje Vpenjalna priprava

Zaznavni obdelovanci:

・Podloge, steklo, kovina, plastika

Dejanski primeri izvedbe:

・ Pozicioniranje odra znotraj vakuumskih komor
・Pozicioniranje Obdelovanec v napravah za vakuumsko nanašanje
・ Oprema za brizganje
・ Pozicioniranje znotraj opreme za proizvodnjo tankih filmov
・ Pozicioniranje polprevodniških rezin
・Vakuum združljive pozicionirne mize
・ Preverjanje namestitve maske z držali substrataKatalog

Primer izboljšave s stikali z visokovakuumsko upornostjo

Primer uvedbe 1: Pozicioniranje polprevodniške mize XY

Problematična točka

• Os XY se zaradi samosegrevanja premakne za nekaj mikronov.
• Foto mikro senzorji ne morejo natančno določiti izvora.

Po izboljšanju

• Natančnost zaznavanje položaja mize je možno s kontaktnim stikalom na tip .

Primer uporabe 2: Potrditev namestitve Steklena podlaga

Problematična točka

• Posebni vakuumski konektorji so dragi in stanejo več kot 2000 USD.
• Zahtevana je namestitev preglednega okna.

* Kot nadomestni izdelki so na voljo »prozorni vakuumski optični senzorji« ali »senzorji premika« drugih proizvajalcev.
Vendar pa je v primerjavi s Stikalo z visokovakuumsko upornostjo, ki običajno stane okoli 300 do 500 dolarjev, cenovni razpon optičnih senzorjev veliko višji, in sicer od 2000 do 5000 dolarjev ali več na enota in ojačevalnik.

Po izboljšanju:

• Posebni, dragi vakuumski konektorji niso potrebni.
• Stroške je mogoče prihraniti, če ni potrebno okno za ogled.

Primer posvojitve 3: Ugotavljanje izvora nosilca

Problematična točka

• Želim najti izhodišče drsnega nosilca z uporabo dveh točk na spodnji in stranski površini.

Po izboljšanju:

• Vgradnja krogličnega tip na dotik v šablono je omogočila zasnovo sistema za pozicioniranje spodnje površine sedeža.
• Visoko natančno določanje izvora stranske površine je bilo zasnovano z uporabo ravnega stikala na tip .

Kontakt informacije in informacije o izdelku

《Kontakt》
Naši inženirji bodo odgovorili na vsa vprašanja glede načinov uporabe izdelkov ali zahtev za prilagoditev izdelkov.
Najboljšo podporo vam lahko zagotovimo, če so na voljo podrobnosti o uporabi, okolju uporabe in vrsti obdelovancev , ki bodo zaznani.
Za stik z nami uporabite spodnji kontaktni obrazec.

Več informacij o stikalih z visoko vakuumsko upornostjo:

Za prenos izpolnite naslednji obrazec. Katalog

"Proizvodna lokacija"
Kliknite tukaj za ogled spletnega mesta serije GN